具有防静电环境要求的净化车间,一般使用哪些

华锐 2020-07-28 18:14 阅读


静电(是一种处于静止状态的电荷)是净化车间最难控制(control)的因素(factor)之一,静电会增加半导体(semiconductor)器件生产(Produce)中的废品增多并降低(reduce)电子设备的可靠性。电子厂净化车间净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。因此,在半导体器件的生产中,必须防止静电对器件的作用。有许多方法可以消除静电,对于具有防静电环境要求的净化车间工程,通常使用以下方法:
1、净化车间需选用合适的材料:
净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料,多种材料共同使用时,应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流(Electron flow)能通过的材料,绝缘体是电流不能通过的材料。
2、接地:
接地是带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。
(1) 净化车间内可能(maybe)产生静电(是一种处于静止状态的电荷)危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施(指针对问题的解决办法)。电子厂净化车间送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
(2) 电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电(是一种处于静止状态的电荷)装饰,可以抑制尘埃的带电吸附。
(3) 工艺设备接地。
(4)净化车间的办公设备应采用能防静电(是一种处于静止状态的电荷)的材料制成并接地。
(5)净化车间工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。
3、中和:
将带电体(静电(是一种处于静止状态的电荷))周围的空气离子化后,带电的离子在电磁场(定义:传递实物间磁力作用的场)(electromagnetic field)作用下发生迁移,带电体吸引异性电荷(electric charge)达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电 子和离子的装置,它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和,从而消除静电。净化车间的绝缘材料(合成树脂)表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。
4、湿度控制:
在众多消除静电(是一种处于静止状态的电荷)的方法中,室内湿度控制(control)也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。GMP净化车间GMP要求制药、食品等生产企业应具备良好的生产设备,合理的生产过程,完善的质量管理和严格的检测系统,确保最终产品质量(包括食品安全卫生等)符合法规要求。通过在环境中保持高的相对湿度,在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层,利用这一薄层来提供导电的通道,使得可能产生的电荷(electric charge)流过该湿气层耗散静电荷。另外,薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性,摩擦生电也将减少。一般来说,湿度越低,产生的电荷越多。但是资料表明,甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压,但是,在高湿度环境中,净化车间生产人员可能会感觉十分不舒服,零部件可能生锈,并产生可焊性问题。同时,企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的,尤其在干燥地区更是如此。

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